超聲波改性尼龍拋光機拋光的過程其實是一個由電能轉(zhuǎn)換成機械能的過程，主要由超聲波主機控器將超聲波電信號經(jīng)功率放大器處理后輸出到超聲波換能器工作手柄上，超聲波換能器工作手柄再將超聲波電信號轉(zhuǎn)換成一個20KHZ以上的高能高速機械振動，最后經(jīng)變手柄前端的變幅 桿傳遞到工具頭的未端，并帶動工具頭上的拋光材料懸浮液以第秒20000次以上的速度高速沖擊被拋光工件的表面，從而快速達(dá)到鏡面效果。

     超聲波改性尼龍66拋光機的拋光方式：

     1）非縫合式整布機。多用細(xì)軟棉布制成，宜拋光形狀復(fù)雜工件，或用于小型工件的精拋光。

     2）風(fēng)冷布機。采用45度角線裁法，呈環(huán)形皺褶狀，中間裝有金屬圓盤，具有通風(fēng)散熱的特點，宜拋光大型工件。

     3）縫合式。多用粗布、無紡布及細(xì)平布等制成，縫線可采用同心圓式螺旋式及直輻射形式，宜拋光各種鍍層及形狀較簡單的工作。

     4）毛氈機。采用純羊毛制作而成，縮絨時間長組織緊密、孔隙小，不像織物那樣受經(jīng)緯的限制，耐磨性能好。

 

     超聲波改性尼龍66拋光機的拋光流程：

     1.固定：將單晶硅棒固定在加工臺上。

     2.切片：將單晶硅棒切成具有精確幾何尺寸的薄改性尼龍66切片。此過程中產(chǎn)生的硅粉采用水淋，產(chǎn)生廢水和硅渣。

     3.退火：雙工位熱氧化爐經(jīng)氮氣吹掃后，用紅外加熱至300~500℃，改性尼龍66切片表面和氧氣發(fā)生反應(yīng)，使改性尼龍66切片表面形成二氧化硅保護(hù)層。

     4.倒角：將退火的改性尼龍66切片進(jìn)行修整成圓弧形，防止改性尼龍66切片邊緣破裂及晶格缺陷產(chǎn)生，增加磊晶層及光阻層的平坦度。此過程中產(chǎn)生的硅粉采用水淋，產(chǎn)生廢水和硅渣。

     5.分檔檢測：為保證改性尼龍66切片的規(guī)格和質(zhì)量，對其進(jìn)行檢測。此處會產(chǎn)生廢品。

     6.拋光：用磨片劑除去切片和機磨所造的鋸痕及表面損傷層，有效改善單晶改性尼龍66切片的曲度、平坦度與平行度，達(dá)到一個拋光過程可以處理的規(guī)格。此過程產(chǎn)生廢磨片劑。

     7.清洗：通過有機溶劑的溶解作用，結(jié)合超聲波清洗技術(shù)去除改性尼龍66切片表面的有機雜質(zhì)。此工序產(chǎn)生有機廢氣和廢有機溶劑。

     8.RCA清洗：通過多道清洗去除改性尼龍66切片表面的顆粒物質(zhì)和金屬離子。

     9.磨片檢測：檢測經(jīng)過拋光、RCA清洗后的改性尼龍66切片的質(zhì)量，不符合要求的則從新進(jìn)行拋光和RCA清洗。

    10.腐蝕A/B：經(jīng)切片及拋光等機械加工后，晶片表面受加工應(yīng)力而形成的損傷層，通常采用化學(xué)腐蝕去除。蝕A是酸性腐蝕，用混酸溶液去除損傷層，產(chǎn)生氟化氫、NOX和廢混酸；腐蝕B是堿性腐蝕，用氫氧化鈉溶液去除損傷層，產(chǎn)生廢堿液。本項目一部分改性尼龍66切片采用腐蝕A，一部分采用腐蝕B。

     11.分檔監(jiān)測：對改性尼龍66切片進(jìn)行損傷檢測，存在損傷的改性尼龍66切片重新進(jìn)行腐蝕。

     12.粗拋光：使用一次拋光劑去除損傷層，一般去除量在10~20um。此處產(chǎn)生粗拋廢液。

     13.精拋光：使用精磨劑改善改性尼龍66切片表面的微粗糙程度，一般去除量1um以下，從而的到高平坦度改性尼龍66切片。產(chǎn)生精拋廢液。

     14.檢測：檢查改性尼龍66切片是否符合要求，如不符合則從新進(jìn)行拋光或RCA清洗。

     15.檢測：查看改性尼龍66切片表面是否清潔，表面如不清潔則從新刷洗，直至清潔。

     16.包裝：將單晶硅拋光片進(jìn)行包裝。